Visokozmogljivo tarčo titana za PVD

Target titanijevega škropljenja je nekakšen titanski izdelek s tankim snemalnim filmom. Čistost je ključna točka za zmogljivost titanovega brizgalnega premaza, večja je čistost, boljša je korozijska odpornost ter električne in optične lastnosti titanskega brizganega filma. Cilji iz titana imajo široko uporabo za polprevodniške naprave (deponirani film oksidirano na TiO2 kot cepilnik snopa ali izolator), arhitekturno steklo, PV/sončno, okras, optiko, PVD prevleke. V Energy Titanium ponujamo cilje v litje ali kovanje titanov, narejene iz titanijeve palice ali plošče in na koncu CNC stroj, kar pomaga povečati funkcionalnost v širokem razponu nanosa. Naše tarče proizvajajo titanije z visoko čistostjo s fino in enakomerno strukturo, ki je v celotni življenjski življenjski življenjski dobi v velikosti delcev.

Zahteve za cilje za brizganje so višje od potreb v tradicionalni industriji materialov. Na splošno zahteve vključujejo velikost, ravnost, čistost, vsebnost različnih nečistoč, gostoto, n/o/c/s, velikost zrnja in nadzor napak. Višje ali posebne zahteve vključujejo: površinsko hrapavost, vrednost upornosti, enakomernost velikosti zrn, enakomernost sestave in strukture, vsebnost in velikost tujih snovi (oksidi), magnetna prepustnost, ultra - visoka gostota in ultra metoda-}} finalne faze. Uporablja sistem elektronskih pištol za oddajanje in usmerjanje elektronov na material, ki ga je treba prevleči, tako da razpršeni atomi sledijo načelu pretvorbe zagona in odletijo stran od materiala z visoko kinetično energijo, da nanesejo in oblikujejo film na podlagi. Material, ki ga je treba obložiti, se imenuje tarča za brizganje. Cilji brizganja vključujejo kovine, zlitine, keramične spojine itd.

Cilji za brizganje se uporabljajo predvsem v elektronski in informacijski industriji, kot so integrirana vezja, shranjevanje informacij, zasloni tekočih kristalov, laserski pomnilnik, elektronski krmilni naprave itd. Lahko jih uporabimo tudi na področju steklene prevleke. Uporablja se lahko tudi za panoge, kot so Wear - odporni materiali, visok - temperaturni korozijski upor in visoki - končni dekorativni izdelki.

Načelo magnetronskega brizganja:

Med razpršeno tarčo (katodo) in anodo se naneseta ortogonalno magnetno polje in električno polje. Zahtevani inertni plin (običajno AR plin) je napolnjen v visoki vakuumski komori. Stalni magnet tvori magnetno polje od 250 do 350 Gaussov na površini ciljnega materiala, ki skupaj z visoko- napetostnim električnim poljem tvori ortogonalno elektromagnetno polje. Pod delovanjem električnega polja se AR plin ionizira v pozitivne ione in elektrone. Za cilj se uporablja določena negativna visoka napetost.

Na elektrone, ki izhajajo iz ciljne elektrode, vpliva magnetno polje, kar povečuje verjetnost ionizacije z delovnim plinom. V bližini katode nastane visoka - plazma gostote. Pod delovanjem sile Lorentz se AR ioni pospešijo in letijo proti ciljni površini, kar bombardirajo ciljno površino z zelo veliko hitrostjo. Atomi, razpršeni od cilja, sledijo načelu pretvorbe momenta in odletijo stran od ciljne površine z večjo kinetično energijo proti substratu, da se odlagajo in oblikujejo film. Magnetronsko brizganje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: pritok brizganja in radiofrekvenčno brizganje. Med njimi je načelo opreme za razprševanje pritožbe preprosto, njegova hitrost pa je hitra tudi pri brizganju kovin. Obseg aplikacije radiofrekvenčnega brizganja je še širši. Poleg brizgajočega prevodnega materiala lahko razprši tudi ne - prevodne materiale. Hkrati ga lahko uporabimo za reaktivno brizganje za pripravo sestavljenih materialov, kot so oksidi, nitridi in karbidi. Če se pogostost radiofrekvence poveča, postane mikrovalovna plazemska brizganje. Pogosto uporabljena vrsta je mikrovalovna plazemska brizganje elektronske ciklotronske resonance (ECR).

Cilji visokozmogljivih titanov se uporabljajo v polprevodniških, elektronskih informacijah, prikaza fizičnega nalaganja hlapov (PVD), kemičnem odlaganju hlapov (CVD) in optičnih aplikacijah.

 

Cilji visokozmogljivih titanov

 

natančno obdelani cilji titana

Cilji titana z visoko čistostjo

Cilji titana v zalogah za prodajo

Proces proizvodnje ciljev titanov vključuje različne tehnike kovanja, vključno z kot odprto kovanje, zaprto kovanje, brezplačno kovanje in izotermalno kovanje.

Izbira teh procesov je odvisna od vrste titanove zlitine, zapletenosti zahtevanih komponent in zahtev končne aplikacije. Med postopkom kovanja je ključnega pomena natančen nadzor temperature in hitrosti deformacije za zagotovitev mikro - strukture in zmogljivosti odkupnikov.

(1) Geometrijska oblika in velikost

Zunanje dimenzije ciljev titana se običajno pregledajo z merilnimi orodji, kot so jekleni ravnini, čeljusti in predloge. Kompleks - v obliki odkupnikov v obliki odpuščanja je mogoče natančno pregledati z metodo pisma.

(2) kakovost površine

Če obstajajo razpoke, vdolbine ali zložljive napake na površini tarč, jih lahko na splošno odkrije s prostim očesom. Včasih, ko so razpoke zelo majhne in globina pregibov ni znana, jo lahko opazimo znova, ko se lopata očisti. Zaznavanje napak se lahko uporabi za pregled, kadar je to potrebno.

(3) notranja organizacija

Ne glede na to, ali obstajajo razpoke, vključitve, poroznost in druge napake znotraj tarč, lahko preverite golo oko ali z 10 do 30 -kratnim povečevalnim steklom na makroskopskem strukturi kovalnega križa -. Pogosto uporabljena metoda v proizvodnji je pregled jedkanja kislin. To pomeni, da se vzorci izrežejo iz delov ciljev, ki jih je treba pregledati, in makroskopske okvare mikrostrukture na razdelku - se lahko jasno prikažejo z jedkanjem s kislinsko raztopino, kot so kovanje porazdelitve linije pretoka, razpoke in vključitve itd.

(4) Metalografski pregled

Način inšpekcijskega pregleda za opazovanje mikrostrukture površine loma ciljev s pomočjo metalografskega mikroskopa lahko preveri predmete, kot so porazdelitev karbida, velikost zrn in globina dekarburizacije.

(5) Mehanske lastnosti

Glavni mehanski pregledni elementi so trdota, natezna trdnost in udarna žilavost. Včasih lahko v skladu z oblikovalskimi zahtevami delov, preskusi hladnega upogiba, preskusi utrujenosti itd..

Zgornji pregledni predmeti so včasih sprejeti v skladu z oblikovalskimi zahtevami in dejanskimi proizvodnimi razmerami, včasih je vsak kos pregledan eden za drugim, včasih pa je vsaka serija odkovkov na sporedu - preverjena. S pregledom kakovosti je mogoče ugotoviti, ali je kovanje usposobljeno. Za pomanjkljive cilje je treba analizirati vzroke in predlagati ukrepe za preprečevanje napak.

Priljubljena oznake: Cilj visoke zmogljivosti titanijevega cilja za PVD, China High Performance Titanium Target za proizvajalce PVD -jev, dobavitelje, tovarno