Cilji titana z visoko čistostjo

 

 

Cilji brizganja titana z visoko čistostjo so tarče za brizganje, narejene iz visoke - čistosti titanijeve ali titanove zlitine s čistostjo od 99,9% do 99,999%.

Uporabljajo se predvsem v izdelavi polprevodnikov, zaslonih z ravnimi ploščami, dekorativnimi prevleki in sesalnimi polji vakuumske opreme.

Njeni osnovni kazalniki učinkovitosti vključujejo čistost, gostoto (4,506-4,51 g/cm³), velikost zrn (manj kot 50 μm) in nadzor nečistoč, ki morajo biti v skladu z domačimi in mednarodnimi standardi, kot sta ASTM in ISO.

 

Cilji iz titana se uporabljajo v integriranih vezjih za odlaganje pregradnih plasti, kot so titanium - silicijeve spojine in titanijeve - dušikove spojine, s čistostjo 4N5-6N za izpolnjevanje zahtev 0,18 μm in bolj izpopolnjene procese.

 

Na področju dekoracije lahko magnetronsko brizganje uporabimo za pripravo različnih barvnih slojev filma, vakuumsko prevleko pa ima tako visoko oprijem in korozijsko odpornost.

Poleg tega so bile v scenarijih uporabljene cilje iz titana, kot so medicinski vsadki in vesoljski premazi zaradi njihovih prednosti, da so lahke in biokompatibilne.

Specifikacije izdelka pokrivajo premere od 50 do 400 mm in debeline od 3 do 28 mm in podpirajo prilagojene zahteve, kot so vezave bakrene cilje.

 

 

1) Čistost

Vendar pa se v praktičnih aplikacijah tudi potrebe po čistosti za ciljne materiale razlikujejo. Na primer, s hitrim razvojem mikroelektronske industrije se je velikost silicijevih rezin razvila s 6 "in 8" do 12 ", medtem ko se je širina ožičenja zmanjšala z 0,5um na 0,25um, 0,18um in celo 0,13um. Predhodno bi lahko ciljni materialni čist 99,995% ustrezala postopku, ki je bila dosežena 0,35 -odstotno, da se je ciljni materialni čistil 99,995%, kar je bilo treba izpolniti ciljni material 99,995%. 0,18um linije je 99,999% ali celo 99,9999%.

 

2) Vsebina nečistoče

Nečistoče v trdnem ciljnem materialu ter kisiku in vodni pari v poreh so glavni viri kontaminacije za deponirani film. Zahteve za različne nečistoče vsebine ciljnih materialov za različne uporabe so tudi različne. Na primer, cilji čistih aluminija in aluminijeve zlitine, ki se uporabljajo v polprevodniški industriji, imajo posebne zahteve za vsebino alkalijskih kovin in radioaktivnih elementov.

 

3) Gostota

Za zmanjšanje poroznosti v trdnem ciljnem materialu in izboljšanje zmogljivosti razpršenega filma je običajno potrebno, da ima ciljni material razmeroma visoko gostoto. Gostota ciljnega materiala ne vpliva samo na hitrost brizganja, ampak tudi vpliva na električne in optične lastnosti filma. Večja kot je gostota ciljnega materiala, boljši je nastop filma. Poleg tega povečanje gostote in moči ciljnega materiala omogoča bolje, da med postopkom brizganja prenese toplotni stres. Gostota je tudi eden ključnih kazalnikov uspešnosti ciljnih materialov.

 

4) Velikost zrn in porazdelitev velikosti zrn

Običajno ima ciljni material polikristalno strukturo, velikost zrn pa se lahko giblje od mikrometrov do milimetrov. Za isti ciljni material je hitrost brizganja cilja s finimi zrni hitrejša kot pri cilju z grobimi zrni. Porazdelitev debeline filmov, ki jih odloži ciljno brizganje z manjšimi razlikami v velikosti zrn (enakomerna porazdelitev), je bolj enakomerna.

 

 

 

A. Procesi valjanja in kovanja ciljnih materialov iz titana

Vroče valjanje in hladno valjanje se uporabljata za predelavo materialov iz titana v potrebne velikosti in oblike.

Proces kovanja izboljšuje mehansko trdnost in notranjo enakomernost ciljnega materiala z izboljšanjem zrnske strukture materiala.

 

B. Poliranje in obdelava površin

Površinsko poliranje zagotavlja, da ima ciljni material dober površinski zaključek in zmanjšuje neenakomernost med brizganjem.

Površinska obdelava (na primer odstranjevanje lestvice oksida in fino mletje) lahko poveča gladko sproščanje razpršenih delcev in s tem izboljša kakovost prevleke.

 

 

1. Preizkušanje čistosti ciljnih materialov

Instrumenti spektralnih analiz se uporabljajo za odkrivanje komponent nečistoč (kot so dušik, kisik, železo itd.) V ciljnih materialih iz titana, da se zagotovi, da njihova čistost doseže več kot 99,9%.

 

2. Zaznavanje fizičnega parametra

Preskus gostote: Gostota ciljnega materiala se meri z metodo premika vode, da se zazna, ali so v notranjosti pore.

Preskus površinske hrapavosti: Ocenite površinsko ravnost ciljnega materiala z laserskim interferometrom.

Preskus trdnosti: Zagotovite, da mehanske lastnosti ciljnega materiala izpolnjujejo zahteve po brizganju z nateznimi testi in testi trdote.

 

 

 

Priljubljena oznake: Cilji brizganja titana z visoko čistostjo, kitajska visoka čistost titanijevega škropljenja cilji proizvajalcev, dobaviteljev, tovarni